Японські вчені розробили спрощений EUV-сканер, який здешевить виробництво чипів

[aaleksandrenko]

Пропоную обговорити Японські вчені розробили спрощений EUV-сканер, який здешевить виробництво чипів

Надіюсь ідея дійде до комерційної реалізації. Хоч це займе мінімум декілька років

[Scoffer]

aaleksandrenko
На жаль не факт. Ідея багатопроменевого безмасочного сканеру вже років з 20 йде як мінімум. А він просто кіллер-фіча для відносно малосерійних чіпів. От тільки тоді прибутки асмл зменшаться, а воно їм треба якщо вони монополісти?

[KimRomik]

Тепер ангстреми не за горами?

[kolio]

нафіга стільки дзеркал? ну от реально.
спеціально ускладнюють обладнання щоб коштувало більше?

[taras_cs]

нафіга стільки дзеркал? ну от реально.
спеціально ускладнюють обладнання щоб коштувало більше?

Щоб ламалося частіше

[ronemun]

нафіга стільки дзеркал? ну от реально.
спеціально ускладнюють обладнання щоб коштувало більше?

тому що випромінювання 7нм - така довжина хвилі в EUV - абсолютно повністю поглинається навіть в найтоншому шарі будь-якого матеріалу, тобто звичайна прозора (для 7нм) оптика не підходить
А дзеркала не дають туж геометричну конфігурацію, необхідно декілька перевідбивань, бажано під кутом повного внутрішнього відбивання і т.п.
Ну і додатково - тре бути дуже обережним, адже найменші похибки в поверхні дзеркала створюють в рази більші похибки в малюнку. Тому максимальні нерівномірності поверхні = 1/10 від норми техпроцесу

[kolio]

ronemun
але як бачимо люди взяли і зробили пару дзеркал і все.
за своє життя я багато бачив інженерних прикладів де можна було зробити простіше, надійніше. Можливо новий метод саме такий. Сподіваюсь.

[Kirakishou]

але як бачимо люди взяли і зробили пару дзеркал і все.

Фотографій чи відео робочого прототипу нам не показали. Обладнання ASML з шістьма дзеркалами працює вже зараз і працює чудово, а обладнання японців поки що тільки на папері.

[Kashtan]

Я за японців, дешеві чіпи, і взагалі за технічний прогрес.
Але читав статтю про рентгенівський літографічний процес у 2000 році, лінзи Кумахова і серйозніші заяви.
І до практичної реалізаціїї ще четверть віку судя по всьому мине.
Якби й тут так не сталось.

[Pride91]

Я за японців, дешеві чіпи, і взагалі за технічний прогрес.
Але читав статтю про рентгенівський літографічний процес у 2000 році, лінзи Кумахова і серйозніші заяви.
І до практичної реалізаціїї ще четверть віку судя по всьому мине.
Якби й тут так не сталось.

Так EUV це і є рентген, а поняття EUV ввели для інвесторів на стадії повторної розробки, бо до цього не вдавалось створити робочої рентгенівської літографічної установки, тому інвестори не давали більше грошей і треба було якось ввести їх в оману, начеб-то це інша технологія.

[ImperiumAeternum]

Японцы разработали. А кто производить будет?

[neonglaу]

Зрозуміло, за рахунок чого японці спростили схему. Вони використовують декілька дзеркал з отвором. Це дійсно може бути рішенням, до якого голандці не дійшли, або не використовували з деяких причин.

[Alexsandr]

ronemun
але як бачимо люди взяли і зробили пару дзеркал і все.
за своє життя я багато бачив інженерних прикладів де можна було зробити простіше, надійніше. Можливо новий метод саме такий. Сподіваюсь.

Пока этот метод только расчетный. Опытного зеркала с источником не создавали.

[AssayMAS]

нафіга стільки дзеркал? ну от реально.

что бы конечная установка была транспортабельной - а не eбaHиHой на десять метров... в США как-то после 2 мировой без зеркал рукоблудили литограф - так там фигня была в несколько этажей - и сам понимаешь такое "не продать". И такое в тонкие процессы никак - "вакуум" проще родить в маленьких установках...

[S]

От тільки тоді прибутки асмл зменшаться, а воно їм треба якщо вони монополісти?

Им не надо, а вот куче людей, которые ищут куда вложить деньги и странам у которых такой технологии нет, очень даже надо. Заявленные 100 млн долл это фигня в глобальных масштабах.