Хочу понять фотолитографию, подскажите источники

[Yalg]

Сабж, ищу инфу, желательно видео, в стиле "фотолитография для идиотов". Как делают кремниевые пластины я нашел и понял, а вот все что с ними делают после шлифовки - нет.

[Ray2000gt]

Когда-то давно читал подробную статью в журнале ДПК на эту тему. Но это было лет 8 назад.